ФОТОЛИТОГРАФИЯ
1)
специальный фотографич. процесс на фоторезистах, отличающийся высокой
разрешающей способностью. Цель Ф.- создать в слое фоторезиста "окна"
заданной конфигурации для доступа травителя к расположенной под этим слоем
полупроводниковой пластине с окисной плёнкой. Такие "окна" образуются при
экспонировании фоторезиста в потоке ультрафиолетового излучения или в потоке
электронов, в результате к-рого он теряет (негативный фоторезист) или приобретает
(позитивный фоторезист) способность к растворению. Одним из многочисл.
применений Ф. служит получение этим методом сотен тысяч мельчайших упорядочение
расположенных отверстий в масках цветных телевизоров. См. также Планарная
технология. 2) Фотомеханич. способ изготовления литографской печатной
формы (см. Литография), при к-ром изображение с негатива копируется
на светочувствит. слой, покрывающий поверхность литографского камня (или
металла). После проявления копии её подвергают хим. обработке, в результате
к-рой поверхность разделяется на печатающие и пробельные элементы. В наст.
время (2-я пол. 20 в.) Ф. применяется чрезвычайно редко. 3) Оттиск с литографской
печатной формы, изготовленной по способу Ф.
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я