КОМПАРАТОР ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ
прибор
для метрологических измерений длин мер в длинах волн света или для сравнения
длин мер на основе интерференции света. Длины концевых мер до 100
мм
измеряются на интерферометре Кёстерса. Концевые меры большей
длины, а также штриховые меры измеряются на универсальном К. и. (см. рис.).
Свет от источника 1 в виде параллельного пучка лучей зеркалом 2
направляется
на полупрозрачную стеклянную разделяющую пластину 3. Часть света,
отражённая пластиной, падает на концевой эталон 4, установленный
на подвижной каретке. Передняя поверхность эталона А - свободная,
а к задней Впритирается плоская стеклянная пластина С. После отражения
от плоскостей А и В свет проходит пластину 3 и зеркалом
5 направляется в зрительную трубу Т. Часть света от зеркала 2, прошедшая
пластину 3, зеркалом 6 направляется на зеркало 7, жёстко
связанное с фотоэлектрич. микроскопом S. Последний может перемещаться вдоль
стола 9 с уложенной на нём штриховой мерой
10. Отражённый
зеркалом 7 свет возвращается к зеркалу 6 и направляется на пластину
3.
Свет, отражённый последней, зеркалом 5 также направляется в зрительную
трубу Т. Положение стола фиксируется интерференционным индикатором
1
1, представляющим интерферометр Майкельсона, одно из зеркал к-рого
жёстко связано со столом.
Схема интерференционного компаратора.
При сравнении эталонной, концевой
и измеряемой штриховой мер положение нулевого штриха штриховой меры фиксируется
под микроскопом, а перемещением каретки с концевой мерой добиваются равенства
длин путей обоих пучков лучей, образовавшихся при отражении света от поверхности
А
меры
и зеркала 7. Затем перемещением зеркала 7 и микроскопа 8
добиваются
равенства длин путей обоих пучков лучей, образовавшихся при отражении света
от зеркала 7 и поверхности В меры. Необходимое для этого перемещение
зеркала 7 и микроскопа 8, очевидно, равно длине концевой меры. Новое
положение зеркала относительно штриховой меры фиксируется микроскопом и
интерференц. индикатором. Для сравнения длин концевых мер в параллельный
пучок лучей, идущий от источника света, помещают трубчатый эталон (эталон
Фабри - Перо), а зеркало 7 устанавливают так, чтобы его плоскость
делила сравнимую меру на части, кратные длине эталона.
Лит.: Захарьевский А. Н.,
Интерферометры, М., 1952; Б р ж е з и нс к и и М. Л., Интерференционные
компараторы для измерения длины штриховых мер, в кн.: Труды институтов
Госкомитета, в. 78 (138), М.- Л., 1965; Волкова Е. А. [и др.], Универсальный
интерферометр системы ВНИИМ для измерения концевых мер и геодезических
кварцевых жезлов длиной до 1200 мм, в кн.: Труды Всесоюзного научно-исследовательского
ин-та метрологии, в. 26 (86), М. -Л., 1955. А. В. Кондрашкой.
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я