ВАКУУМНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
материалы,
применяемые в вакуумных аппаратах и приборах. Основные требования, предъявляемые
к В. м.,- низкое давление пара при рабочих темп-pax и возможность лёгкого
обезгаживания. В. м. для оболочек вакуумных приборов, кроме того, должны
быть мало газопроницаемы. Давление пара, газоотделение и газопроницаемость
В. м.- основные свойства, определяющие верхний предел достижимого вакуума
и возможность его сохранения в течение продолжительного времени. Другие
требования к В. м. определяются областью их применения (см. Вакуумная
техника). Напр., материалы для вакуумных ламп должны обладать достаточной
прочностью при высоких температурах и быть хорошими изоляторами или, наоборот,
проводниками.
|
Табл.
1. - Неорганические конструкционные материалы |
|||
|
Материалы
|
Температура
при давлении паров 1 ,3 мн/м2 (10-5 мм рт.ст.), 0С |
Температурный
коэфф. линейного расширения в интервале от 0 до 1000С (а*107), 0С |
Температура
плавления, 0С |
|
Металлы
|
|||
|
Алюминий
|
841
|
238
|
658
|
|
2564
|
44
|
3410
|
|
|
Железо
|
1083
|
119
|
1535
|
|
Медь
|
934
|
165
|
1083
|
|
Молибден
|
1955
|
55
|
2625
|
|
Никель
|
856
|
133
|
1452
|
|
Палладий
|
1157
|
116
|
1554
|
|
Платина
|
1585
|
90
|
1773,5
|
|
Серебро
|
751
|
189
|
960,5
|
|
Тантал
|
2402
|
65
|
2996
|
|
Титан
(иодидный) |
1336
|
81(20-2000С)
|
1725
|
|
Цирконий
(иодидный) |
1836
|
54(20-2000С)
|
1845
|
|
Сплавы
|
|||
|
Латунь
Л-68 |
-
|
184
|
938
|
|
Монель
|
-
|
137
|
1250
|
|
Нихром
|
-
|
125
|
1400
|
|
Фернико
(ковар) |
-
|
45-55
(20-3000С) |
1450
|
|
Сталь
нержавеющая |
|||
|
1Х18Н9
(ЭЯ-1) |
-
|
160
|
1400
|
|
1Х18Н9Т
(ЭЯ-1Т) |
160
|
1450
|
|
|
Различные
материалы |
|||
|
Электрографит
|
2129
|
8-18
(продольный) |
3800-3900
|
|
Слюда
(мусковит) |
-
|
30
|
1300
|
|
Кварц
плавленый |
-
|
5
|
1700
|
|
Стекло
|
-
|
30-120
|
--
|
|
Керамика
|
|||
|
Глинозёмистая
|
-
|
46-70
(20-1000С) |
2000
|
|
Магнезиальная
|
70-80
(20- 1000С) |
1600
|
|
|
Табл.
2. - Органические конструкционные материалы |
||||||
|
Материал
|
Скорость
газоотделения при t20"С |
Коэффициент
газопроницаемости при t 200С |
||||
|
(м3*м)/(сек*м2*н/м)
|
(см3
• см)/ (сек • см2кгс/см2) |
|||||
|
н*м/(м2*сек)
|
(л*мм
рт.ст.*10-3) /(сек*см2) |
|||||
|
гелий
|
азот
|
гелий
|
азот
|
|||
|
Резина
на основе натурального каучука НК |
(5-
8)10-6 |
(4-
6)10-6 |
1.3*10-16
|
2,3
*10-17 |
1,310-7
|
2,3*10-8
|
|
Резина
на основе синтетического нитриль-ного каучука СКН-26 |
(3-4)10-5
|
(2-3)10-5
|
5,
2*10-17 |
2,
5*10-18 |
5,
2*10-8 |
2,5*10-9
|
|
Резина
на основе синтетического нитриль-ного каучука СКН - 40 |
(3-
4)10-5 |
(2-3)10-5
|
3,6*10-12
|
3,9*10-18
|
3,6*10-8
|
3,9*10-9
|
|
Резина
на основе поливинилсилоксанового каучука СКТВ-1 |
(1-3)10-5
|
(1-
2)10-5 (2500С) |
2,
0*10-15(250С) |
2,0*10-6
(250С) |
||
|
(4-
7)10-7 |
(3-5)10-7
(150- 2500С) |
2,3*10-16
|
8,
4*10-18 |
2,3*10-7
|
8,4*10-9
|
|
|
(7
- 13)10-7 |
(5-
10)10-7 |
2,5*10-17
|
2,5*10-18
|
2,5*10-8
|
2,5*10-9
|
|
|
Полиэтилентерефталат
|
(3-7)10-8
|
(2-
5)10-7 |
7,2*10-18
|
2,7*10-20
|
7,2
*10-9 |
2,7*10-11
|
|
Эпоксидная
смола ЭД-5 , отверждённая по-лиэтиленполиамином |
(3-7)10-4
|
(2-
5)10-4 (600С) |
1,0*10-17
|
-
|
1,0*10-8
|
-
|
|
Табл.
3.- Вакуумные смазки, замазки, лаки и цементы |
|||||
|
Материал
|
Давление
паров при t 200С |
tпл
0С |
Макс,
рабочая темп-ра, 0с |
Назначение
|
|
|
н/мг
|
мм
рт. ст. |
||||
|
Смазки
Высоковакуумная |
10-4
|
10-6
|
-
|
-40
до + 2000 |
Уплотнение
кранов и пришлифованных соединений |
|
Лубрисил
|
10-3
|
10-5
|
40
|
То
же |
|
|
Рамзая
|
10-2
|
10-4
|
30
|
"
|
|
|
Апиезон
|
10-1
|
10-3
при 2000С |
43
|
30
|
"
|
|
"
|
10-8
|
10-10
|
47
|
Пришлифовка
соединений с тугой посадкой |
|
|
Замазки
|
|||||
|
Пицеин
|
10-5
|
10-7
|
40
|
Уплотнение
стеклянных и металлич. шлифов |
|
|
Денисона
|
10-3
|
10-5
|
60
|
||
|
Смесь
пчелиного воска с каучуком |
10-1-10-2
|
10-3-10-4
|
60
|
||
|
Апиезон
|
10-1
|
10-3
|
45;
85 |
Уплотнение
постоянных соединений |
|
|
Менделеева
|
50
|
||||
|
Цемент
Хотинского |
10-1
|
10-3
|
40
|
Для
цоколёвки ламп |
|
|
Глипталевый
лак |
3*10-2
|
2*10-4
|
200
|
Заделка
царапин, покрытие поверхностей |
|
В. м. можно
подразделить на следующие осн. группы: конструкц. материалы, геттеры
(газопоглотители), вакуумные масла и материалы, применяемые
как рабочие жидкости насосов и вакуумметров (напр., ртуть), замазки, смазки,
лаки и цементы. Некоторые свойства важнейших конструкционных В. м. приведены
в табл. 1-3.
Металлы идут
на изготовление корпусов, насосов, вентилей, оболочек,электродов, газопоглотителей.
Стекло - основной материал для колб, трубок, ламп и т. п. Из синтетич.
материалов (полиэтилен, политерафторэтилен, полиамид и др.) и резины изготовляют
трубки, прокладки и т. п. Вакуумные смазки и замазки служат для уплотнения
разъёмных и постоянных соединений. Лаки применяют для заделки царапин,
покрытия поверхностей, цементы - для цоколёвки ламп.
Лит.: Балицкий
А. В., Технология изготовления вакуумной аппаратуры, 2 изд., М.-Л., 1966;
Лебединский М. А., Электровакуумные материалы, 2 изд., М.- Л., 1966. Е.
Н. Мартинсон, Е. Г, Плещенко.
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я