ВАКУУМНАЯ АРМАТУРА,
комплект вспомогательных, обычно типовых устройств вакуумной системы.
Требования, предъявляемые к В. а.: весьма высокая герметичность всех её деталей
и соединений и очень малое отделение газа с её стенок и уплотнителей. К В.
а. относятся: вентили запорные и регулирующие с ручным (рис. 1), электрич.,
гидравлич. или пневматич. приводом; затворы для перекрытия проходов с большим
поперечным сечением, с теми же видами привода; натекатели клапанного и игольчатого
типов, служащие для точного дозирования весьма малых количеств газа, или трубчатого
типа, открывающие проток газа при нагревании капиллярной трубки (рис. 2);
вводы электроэнергий, охлаждающей воды или жидких газов; окна смотровые для
наблюдения за процессами в вакууме и для вывода различных видов излучения;
некоторые виды устройств для передачи в вакуумные объёмы механич. движения
и др.
Рис. 1. Схема вакуумного
сильфонного вентиля с ручным управлением.
К В. а. также причисляют
механич. вакуумметры (остальные их типы, ввиду многообразия и сложности, составляют
самостоят, область вакуумной техники; см. Вакуумметрия).
Рис. 2. Трубчатый вакуумный
натекатель: 1 - капиллярная трубка; 2 - проволока; 3 - подогреватель
(показана его обмотка).
Соединения В. а. низкого
вакуума ynj лотняются прокладками из вакуумной резины, подвижные штоки - сальниковыми
устройствами спец. конструкции. В системах высокого и сверхвысокого вакуума
для подвижных штоков обычно применяются сильфоны, отделяющие приводной механизм
от вакуумного объёма (см. рис. 1). Прокладки для В. а. сверхвысокого вакуума
делают из спец. сортов термостойкой резины, нек-рых видов пластмасс или из
пластичных металлов.
Лит.: Ланис В.
А., Левина Л. Е., Техника вакуумных испытаний, 2 изд., М.- Л., 1963; Пипко
А. И., Плисковский В. Я., Пенчко Е. А., Оборудование для откачки вакуумных
приборов, М.-Л., .1965. А. В. Балицкии.
А Б В Г Д Е Ё Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я